
光刻膠廢水是半導體 / 晶圓制造光刻工序產生的高堿、高 COD、含難降解感光樹脂與 TMAH(四甲基氫氧化銨) 的有機廢水,核心難點是脫色、降 COD、除 TMAH 與脫毒。
光刻膠的廢水主要來源于對原材料的純化產生的廢水、生產過程中產生的廢液、清洗設備產生的廢水等。基本上都是為了生產原材料配比能順利達到合格標準,設備中殘留的原材料或者反應不完全材料直接會導致生產過程中的原材料比例不對。因此需要對設備進行清洗,將殘留部分進行清除。

一、光刻膠廢水核心特點
強堿性:pH 10–14,含 TMAH、NaOH、碳酸鈉。
高 COD:COD 5,000–30,000 mg/L,主要來自光刻膠樹脂(PMMA / 酚醛樹脂)、感光劑(重氮化合物)、TMAH 與有機溶劑。
高色度:深黃 / 棕褐色,含共軛雙鍵感光基團,難脫色。
難降解、有毒:B/C<0.3,含重氮、芳香環、氟化物、銻 / 銅微量重金屬,抑制生化菌。
水質波動大:批次排水,濃度忽高忽低,含未溶解膠體樹脂。
光刻膠廢水中常含有大量的有機溶劑和乳化劑,處理這些廢水時,破乳劑是一種重要的添加劑。破乳劑可以破壞乳化液中的乳化結構,使得水相和油相分離,從而提高清理效果。
選擇合適的光刻膠廢水破乳劑需要考慮以下幾點:
化學性質:保證破乳劑具備良好的兼容性和破乳能力。
濃度:根據廢水的特性,調整破乳劑的用量,以達到最佳效果。
環境友好性:避免使用對環境有害的化學品,盡量選擇生物降解性好的產品。
實際應用中,通常會根據具體的廢水成分和處理工藝進行實驗,以確定最佳的破乳劑及其劑量。

